2025.09.04 韓国SKハイニックスが「HighNAEUV」装置搬入 業界初、利川M16ファブに

京畿道利川にあるSKハイニックスM16工場全景

 半導体大手の韓国SKハイニックスは3日、メモリー業界で初めて量産用「High NA EUV」装置を利川(イチョン)M16ファブに搬入したと明らかにした。

 利川M16ファブは韓国の京畿道利川市に位置する大規模な半導体製造拠点で、主要なメモリー製品のDRAMの最先端品を量産している。

 High NA EUVは、既存のEUVよりも大きなNA(開口数)を適用し、解像度を大幅に向上させた次世代露光装置。現存する最...  (つづく)