2025.09.22 【最先端半導体の実現へ　セミコン台湾2025レポート】荏原製作所　

二木部長（右）と竹内部経理

主力のCMP装置など中心に幅広くアピール

　荏原製作所は、精密・電子カンパニーがCMP装置、排ガス処理装置、ドライ真空ポンプなどの製品を出展した。回路線幅の微細化や積層化などにより複雑化する最先端半導体に向け、CMP装置を中心に高い技術力を訴求した。

　同社はナノレベルの平坦化技術を有しており、主力製品であるCMP装置は多配線化...　　(つづく)