2025.09.24 JSRがラムリサーチと協業 次世代材料の開発推進
JSRおよび子会社のInpria CorporationはLam Research(Lam)と、次世代半導体製造に向けた非独占的なクロスライセンス契約および協業に合意した。この提携により、EUV(極紫外線)リソグラフィー向けフォトレジスト、MOR、ALEやALDに対応する次世代材料の探求を進める。
同社は、JSR/InpriaのMORを含む最先端リソグラフィー材料と、Lamのエッチング・ドライレジスト成... (つづく)
JSRおよび子会社のInpria CorporationはLam Research(Lam)と、次世代半導体製造に向けた非独占的なクロスライセンス契約および協業に合意した。この提携により、EUV(極紫外線)リソグラフィー向けフォトレジスト、MOR、ALEやALDに対応する次世代材料の探求を進める。
同社は、JSR/InpriaのMORを含む最先端リソグラフィー材料と、Lamのエッチング・ドライレジスト成... (つづく)
平素より『週刊電波新聞』および『電波新聞デジタル』をご購読いただき、誠にありがとうございます。
ゴールデンウィーク期間中の発行および記事更新につき、下記の通りご案内申し上げます。
■ 週刊電波新聞 発行スケジュール
・5月4日(月):発行
※「5月4・11日合併号」として発行
・5月11日(月):休刊
※5月4日に合併号を発行しているため
・5月18日(月):通常通り発行
■ 電波新聞デジタル について
・土日・祝日を除く平日に記事を更新
・緊急性の高いニュース発生時は、随時更新予定
何卒ご理解賜りますようお願い申し上げます。
株式会社電波新聞社