有料会員限定JSRおよび子会社のInpria CorporationはLam Research（Lam）と、次世代半導体製造に向けた非独占的なクロスライセンス契約および協業に合意した。この提携により、EUV（極紫外線）リソグラフィー向けフォトレジスト、MOR、ALEやALDに対応する次世代材料の探求を進める。
同社は、JSR／InpriaのMORを含む最先端リソグラフィー材料と、Lamのエッチング・ドライレジスト成... (つづく)
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