2025.09.25 【最先端半導体の実現へ セミコン台湾2025レポート】シンフォニアテクノロジー
梅津担当課長(右)と小木曽氏
PLP対応などの各種クリーン搬送システム展示
シンフォニアテクノロジーは、ロードポートや基板自動搬送装置(EFEM)など各種クリーン搬送システムを展示した。
ロードポートは半導体製造装置前面に設置され、ウエハー格納用ポッド(FOUP、SMIFなど)内のウエハーを出し入れする装置。同社のロードポート「SELOPシリーズ」は実績... (つづく)
梅津担当課長(右)と小木曽氏
シンフォニアテクノロジーは、ロードポートや基板自動搬送装置(EFEM)など各種クリーン搬送システムを展示した。
ロードポートは半導体製造装置前面に設置され、ウエハー格納用ポッド(FOUP、SMIFなど)内のウエハーを出し入れする装置。同社のロードポート「SELOPシリーズ」は実績... (つづく)
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