2021.05.21 GaN基板製造設備が完成三菱ケミカルと日鋼、室蘭に

　三菱ケミカルと日本製鋼所は共同で、窒化ガリウム（GaN）単結晶基板の量産に向けた実証設備を日本製鋼所M＆E室蘭製作所（北海道室蘭市、室蘭製作所）構内に竣工（しゅんこう）した。2021年度にかけて4インチのGaN単結晶基板の量産に向けた実証実験を行い、22年度初頭からの市場供給開始を目指す。

　両社は17年に、室蘭製作所内に建設したパイロット設備において透明で結晶欠陥が極めて少ないGaN基板の低コスト製造技術の開発に成功し、4イ...　　(つづく)