2021.07.02 【支える半導体製造】日本分光 赤外光で不純物濃度定量 極低温、全真空で高精度の測定
SiCウエハー評価専用システム「NRS-7500」
半導体の母材で、ICを作る基板となるシリコンウエハーは、極めて純度の高い単結晶構造だ。含まれる不純物の濃度が製品の品質を左右するため、シリコンの純度はいわゆる9が11個並ぶ「イレブン・ナイン」（99.999999999％）以上の超高純度が求められる。
日本分光が手掛けるフーリエ変換赤外分光光度計（FTIR）は試料に赤外光を照射し、透過・反射した光量を測定する装置。シリコン中の炭素や酸素など極微量の不純物を定量し、主流の12イ... (つづく)
