2022.03.15 第3世代酸化ガリウム100ミリエピウエハー開発ノベルクリスタルテクノロジーが佐賀大と共同で

第3世代酸化ガリウム（β-Ga₂O₃）100mmエピウエハーを用いて試作したショットキーバリアダイオード

　タムラ製作所からのカーブアウトベンチャー、ノベルクリスタルテクノロジー（埼玉県狭山市）は14日、佐賀大学と共同で、第3世代酸化ガリウム100ミリメートルエピウエハーを開発したと発表した。新エネルギー・産業技術総合開発機構（NEDO）のプログラムの一環。モビリティーなど100A級のパワーデバイスが求められる市場に展開が可能となる。

　エピウエハー製造技術を改良し、酸化ガリウムパワーデバイスの大電流化を阻害していた耐圧特性を劣化さ...　　(つづく)