2022.09.02 OKIとクリスタル発表のMEMSデバイス 強み持ち寄り薄膜実装、展開多彩に 接合と薄膜の技術が融合
OKIと、単結晶薄膜を手掛けるベンチャー、KRYSTAL（クリスタル、山口県宇部市）が発表した新しいタイプのMEMSデバイス（既報）は、
圧電単結晶薄膜＝キーワード参照＝を巡り、OKIがLED関連で擁する接合技術と、クリスタルの薄膜技術を融合させたもの。さまざまなアプリケーションが期待できそうだ。
圧電MEMSはマイクロメートルレベルの電気機械システム。半導体のシリコン基板・ガラス基板・有機材料などに、... (つづく)
