TASMITは、半導体向け検査・計測装置の専門メーカー。光学式ウエハー検査装置「インスペクトラ」シリーズを出展する。

　高速・高感度が特長で、可視光に加え、紫外光、赤外光など多彩な光を駆使した製品を投入し、検査領域を広げている。

　高い信頼性が求められる車載向け半導体では、ウエハー状態で検査した後、ダイシングやパッケージングなどのプロセスでも検査が必要とされる。各工程の検査に対応するインスペクトラの需要が拡大している。

　インスペクトラのダイシングフレーム用モデルは、ダイシング後の検査機能を備える。微分干渉光学系（DIC）で可視光検査では、見えなかった内部のクラックなどダイシング加工後に生じた新たな不良箇所を検出可能。

　紫外光を使ったインスペクトラPLシリーズは、SiCやGaNなど化合物半導体の結晶欠陥を評価。パターン工程まで一貫した検査ができる点が強みで、パワーデバイスメーカーでの一層の浸透を図る。

　同IRシリーズは、赤外光でシリコンを透過してウエハー内部の欠陥を検査する装置でMEMSや車載向けに展開。重ね合わせ測定装置「OM-7000H」はこの技術を応用して赤外光でウエハー同士の貼り合わせ精度を測る。高感度カメラの採用で、反射測定の検査速度が従来比3倍に向上した。