2022.12.23 TELが高い生産性の洗浄装置販売

洗浄装置CELLESTA MS2を販売開始

　東京エレクトロン（TEL）は、洗浄装置「CELLESTA MS2」を販売。枚葉洗浄装置のCELLESTAシリーズは、半導体製造における洗浄工程で幅広く採用されている。

　このほどリリースするCELLESTA　MS2は、2流体スプレーとブラシによる物理洗浄機能を備えた洗浄装置。同装置は、両面同時処理を実現したことで、従来製品と比較してさらに高い生産性を実現している。

　両面処理時の単位面積当たりの生産性は、従...　　(つづく)