2025.07.18 大陽日酸がポーランド科学アカデミー高圧物理研究所に複数台のMOCVD装置納入決定
納入予定と同型の装置外観
日本酸素ホールディングスグループの大陽日酸は、ポーランドの科学アカデミー高圧物理研究所(Unipress)に複数台のMOCVD装置の納入が決まった。納入するMOCVD装置(型式:SR4000HT)は、同研究所で確立した世界クラスのGaNバルク結晶成長技術と組み合わせることが可能で、窒化物材料のエピタキシャル成長の研究開発を加速させる。
また、そのほかのワイドバンドギャップ半導体製造にも用いられ、窒化物半導体の開発への貢献が期... (つづく)
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