EUV露光装置好調で
半導体露光装装置世界最大手、オランダのASMLが22日発表した19年10-12月（第4四半期）業績は、ロジック分野での最先端EUV（極端紫外線）露光装置に対する旺盛な需要を受け売上高が過去最高を記録した。次世代高速通信規格5Gなどへの投資拡大を背景に、EUV装置の好調は20年も続くと見ている。
10-12月の売上高は前年同期比28％増の40億3600万ユーロ（約493... (つづく)
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