2023.02.16 セミコン・コリアから〈下〉 レーザーテック、EUV検査装置を紹介 堀場製作所、次世代MFC採用進む カンケンテクノ、排気ガス「除害装置」展示
レーザーテックのブース
半導体材料、装置メーカーが一堂に会する「セミコンコリア2023」に、日本の半導体製造装置メーカーなどが出展し注目を集めた。
レーザーテック
光を用いた独自の最先端技術で検査・計測ソリューションを提供しているレーザーテックは、EUV露光装置用パターンフォトマスク検査装置、EUVマスク裏面検査・クリーニング... (つづく)
