2023.07.19 三井化学EMSが営業を開始 ペリクル事業展開

ペリクル製品

　三井化学の関係会社・三井化学EMS社が、今月から営業を開始した。

　旭化成からペリクル事業を引き継ぎ誕生した同社は、液晶パネルの露光工程で使用するFPDペリクルのナンバーワンプレーヤー。半導体露光工程に使用するDUV（深紫外線）ペリクルにおいても、先端領域で多く使われる液浸ArF向けを中心に、市場で高く評価されている。

　一方、三井化学は、DUVペリクルの先端品市場におけるリーディングカンパニーとして、また...　　(つづく)