2023.08.30 東京エレクトロンが8.7世代ガラス基板対応プラズマエッチング装置の受注開始 量産安定性と歩留まり向上
8.7世代ガラス基板対応プラズマエッチング装置「Betelex 2700 PICP EX Plus」
東京エレクトロン（TEL）は、8.7世代ガラス基板対応プラズマエッチング装置「Betelex 2700 PICP EX Plus」を発表し、受注を開始した。
8.7世代は2290×2620ミリメートルの大型ガラス基板サイズ。高精細プロセス向け新チャンバー「PICP EX Plus」を搭載し、高度なエッチング性能、量産安定性と歩留まり向上を実現する。
IT製品用有機EL向けを中心とした8.7世代ディスプレ... (つづく)
