2023.09.07 【新技術】サロゲートモデルを利用した半導体用材料ガス供給システムのシミュレーション　大陽日酸

図1 気相圧力推算の検討結果

1．はじめに

　当社では、固体材料を使用した半導体用材料ガスの供給システム開発に取り組んでいる１）。このシステムは、常温・常圧で固体材料を容器に充塡（じゅうてん）し、容器周囲に設けられたヒーターで加温し、固体材料を気化させて、半導体用材料ガスとして供給するシステム（以下、「本システム」という）である。

　本システムにおいて、半導体用材料ガスの安定供給のためには、容...　　(つづく)