2023.12.15 三井化学とベルギーのアイメック提携　半導体露光用カーボンナノチューブで

契約を締結する両者

　三井化学と、半導体などで知られるベルギーの研究機関imec(アイメック)は14日、極端紫外線(EUV)露光用のカーボンナノチューブ(CNT)技術の事業化に向け、戦略的パートナーシップ契約を締結したと発表した。2025～26年をメドに、高出力EUV露光向け製品の導入を目指す。

　パートナーシップ契約は、CNT膜とペリクルを共同開発するもの。imecは三井化学での事業化に向けたコンサルテーションとEUV露光機での評価を担当する。