2023.12.22 レーザーテックがEUV欠陥検査装置を発表 高NA対応、高輝度光源搭載
高NA対応アクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300シリーズ」
レーザーテックはこのほど、高NA対応のアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A300シリーズ」を発表した。
EUVリソグラフィーを用いた最先端プロセスで導入されている「ACTIS A150」の後継機種で、さらなる微細化プロセスと高NAリソグラフィーに対応する。
A300は、新たに設計された光学系や高輝度光源「URASHIMA」を採用し、A150と比較して非常に高い欠陥検出性能を実現... (つづく)
