2024.06.21 三井化学が次世代EUVペリクルの生産設備導入　材料革新前倒し、早期実用化へ

岩国大竹工場の全景

高透過率のCNTで半導体高度化

　三井化学は、次世代EUV（極端紫外線）ペリクルの生産設備を岩国大竹工場（山口県和木町）に導入し、2025年の完工を予定する。材料革新を前倒しし、高透過率のCNT（カーボンナノチューブ）ペリクルを早期実用化することで、半導体の高度化への貢献を目指す。

　ペリクルは、半導体露光工程で利用されるフォト...　　(つづく)