2024.12.23 レーザーテックがEUVマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置　優れた感度と欠陥座標精度

EUVマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置ABICSシリーズ「E320」

　レーザーテックは、次世代EUVマスクブランクスの欠陥管理と歩留まり向上に貢献するEUVマスクブランクス欠陥検査／レビュー装置ABICSシリーズ「E320」を製品化し、正式に受注を開始する。

　同社は、長年にわたりEUV光源を用いた検査技術の開発を行ってきた。現在、販売しているABICSシリーズ「E120」は、位相欠陥に対する高い検出感度と欠陥座標精度により、出荷検査や欠陥Mitigation技術に活用され、顧客から高い評価を得...　　(つづく)