2025.07.08 感光性ポリイミド材料、膜厚200マイクロメートルで微細加工可能　東レが開発、PFASフリー対応

STF-2000による厚膜加工例

　東レは4日、世界初となる、膜厚200マイクロメートルで微細パターン可能なPFASフリーの感光性ポリイミド材料「STF-2000」の開発に成功したと発表した。ネガ型感光性材料における高感度化技術の極限追求と硬化応力を制御する独自の感光設計技術により、膜厚200マイクロメートル、線幅30マイクロメートルの超厚膜・ハイアスペクト微細加工を実現した。

　開発品は、ポリイミド構造に由来する高い耐熱性、耐薬品性、機械強度、絶縁性、X線耐性...　　(つづく)