2025.08.28 ノリタケがGaNウエハー用研磨パッド開発　長寿命、研磨速度は従来の30倍

開発したGaNウエハー用研磨パッド

　ノリタケは、高速通信向けなどに用いられる窒化ガリウム（GaN）ウエハー用の研磨パッドを開発した。開発品は、GaNウエハー研磨の加工時間短縮と、寿命延長を達成し、産業廃棄物の低減にも貢献する。

　5Gをはじめとする高速通信では、高い周波数の電波が使用されている。そのため、基地局やデータセンターで用いられる通信デバイスでは、高周波に対して高速で安定した動作が求められており、より高い周波数で動作でき、高電圧・大電流にも耐えられるGa...　　(つづく)