レーザーテックは高機能素材Week大阪に出展し、業界唯一の白色コンフォーカル光学系を搭載したコンフォーカル顕微鏡を紹介する。

　ハイブリッドレーザー顕微鏡「OPTELICS HYBRID+」は、二つ（白色・レーザー）のコンフォーカル光学系をベースに、フォーカスバリエーション、微分干渉観察、垂直白色干渉測定、位相シフト干渉測定、反射分光膜厚測定などの機能を搭載した。複数の装置をそろえなければ実現できなかった観察・測定が1台で可能となる。視野・速度・精度の全てで業界最高水準のスペックを有しており、ナノメートルレベルの観察・測定ができるようになる多彩なオプション機能も搭載する。

　コンフォーカル顕微鏡自動検査・レビュー装置「OPTICS AI²」は、自動欠陥検査、高倍率欠陥レビュー、3次元形状測定などをシームレスに1台で実現する。追従式AF搭載のステージスキャン方式により、従来比4倍の高速化を実現。3インチウエハーを約15分の検査時間で処理する。研究開発から量産まで各フェーズで活躍できる装置だ。検査対象はシリコンや化合物半導体のウエハーやフィルム・ガラス基板など。

　検出欠陥を高倍率レビューすることができ、0.15µm/pixelの高倍率・高分解能観察で構造を捉え、3次元（3D）の形状測定にも対応する。

　IR光源とコンフォーカル光学系を組み合わせたIRコンフォーカル顕微鏡「OPTELICS IR」は、非破壊で高解像度の内部観察を実現する。可視光観察では見えない領域をIR光で捉えることができるため、3Dパッケージなどの先端半導体デバイスの研究開発・プロセス改善に最適だ。

　同社は長年にわたって培ってきた光応用技術を基に、さまざまな顧客が抱える検査・計測に関する課題に対し最適なソリューションを提案する。