2026.07.08 次世代半導体材料の欠陥を高速3D化、酸化ガリウム悩ます「転移」に対策、ノベルクリスタル

　酸化ガリウム（β-Ga2O3）は自動車や電力インフラなどの電力変換を担う次世代パワー半導体の材料として期待を集めるが、結晶中の欠陥が性能低下や信頼性劣化の要因になる。対策として光学顕微鏡を使い欠陥を3次元（3D）画像として可視化する技術が登場した。タムラ製作所などが出資する半導体材料開発のノベルクリスタルテクノロジーと民間研究機関のファインセラミックスセンター（JFCC）が発表した。

　国の新エネルギー・産業技術総合開発機構（...　　(つづく)