2026.07.30 3D DRAM視野、ニコンが先端半導体ウエハーの歪み・ずれ計測装置「Litho Booster 1000」精度35％向上

Litho Booster 1000

　人工知能（AI）向け先端半導体は垂直方向に層を重ねる3次元（3D）構造で性能を高める動きが活発だが、層が増えるにつれウエハーの歪みやずれが大きくなるのが課題。総合光学機器大手のニコンはそれらを高精度に計測し、正確な加工を行えるようにするアライメントステーション「Litho Booster 1000（リソブースター1000）」を2027年1月に発売する。従来製品に比べ計測精度を35%向上し、歩留まり改善につなげられる。通電中だけ情報を保持し、高速で...　　(つづく)