2026.08.14 荏原、先端半導体向け－60℃極低温チラー、水・電力消費3～5割減

　産業機械大手の荏原製作所は、同社初となる－60℃の極低温チラー「RJ-TTC型」を出荷開始した。半導体ウエハーの表面から不要部分を取り除くエッチング装置の冷却に用いる。

　半導体の微細化、高集積化によりエッチング装置に対し高精度、低温、高出力への要求が高まると、チラーも消費電力や使用水量の増加が避けられず、対策は大きな課題になっている。新製品は荏原が培ってきた冷熱技術とポンプ技術を組み合わせ、水の消費量と消費電力を既存の一般的...　　(つづく)