2026.09.14 【電波時評】先端半導体を支える「森村グループ」

　人工知能（AI）の急速な普及は世界中のさまざまな産業に大きな影響を与えている。そうした分野の一つが、TOTOが手がける半導体製造装置向け部材である静電チャックだ。

　静電チャックは、半導体装置内でウエハーを固定するために使う。多層化が進むメモリーといった先端半導体ではエッチング工程など装置内の環境も厳しさを増している。そうした中、耐久性に優れたTOTOの静電チャックが装置メーカーの目に留まった。

　TOTOの静電チャッ...　　(つづく)