2026.09.07 「最低でも1200億円」　TOTO、半導体装置用部材で攻勢　静電チャック、交換需要8割

半導体製造装置で使われる静電チャックがAI需要で急速に拡大している

　TOTOが、人工知能（AI）半導体の拡大を受け、半導体製造装置向け部材の販売を急速に伸ばしている。装置内でウエハーを固定する静電チャックなどのセラミック事業は2027年3月期で前期比27％増の売上高855億円を見込む。中期経営計画の31年3月期には全社で1兆円以上の売上高を目指す中、新領域として展開するセラミック事業は「最低でも1200億円」（田村信也社長）への拡大を視野に入れる。

　同社は、半導体装置向けに、内部をコーティン...　　(つづく)