2026.07.31 TOTO、茅ヶ崎工場に新研究棟　170億円投資、半導体装置向け部材を強化

新研究開発棟の完成イメージ

半導体製造装置で使われる静電チャック半導体製造装置で使われる静電チャック

　TOTOは31日、茅ヶ崎工場（神奈川県茅ヶ崎市）に約170億円を投資し、研究開発棟を新設すると発表した。半導体製造装置でシリコンウエハーを固定する「静電チャック」などの研究開発の強化が目的で、2026年12月に着工し、28年4月の竣工（しゅんこう）を予定する。

　新たな研究開発棟は、敷地面積2800㎡に鉄骨造り4階建て延べ1万600㎡の規模で建設する。セラミック事業の主力製品である静電チャックと、半導体製造装置内部をセラミック膜で保護するAD（エアロゾルデポジション）部材で、高性能な次世代品の研究開発を加速するのが狙い。試作ラインも拡張し、開発のスピードを高める。

　今回の投資は、4月に公表した約300億円の成長投資の一環。研究開発を行う茅ヶ崎工場に加え、生産拠点である中津工場（大分県中津市）と豊前工場（福岡県豊前市）の3拠点に対し、28年度までに約300億円を投資する計画だ。静電チャックの生産能力増強に向け、すでに豊前工場では焼成棟建設に25年12月に着手し、27年1月に竣工予定だ。