2021.02.11 住友化学が半導体フォトレジストの生産増強液浸ArFやEUV向け　製造ライン増設へ

　住友化学は、大阪工場（大阪市此花区）で最先端プロセス向け半導体フォトレジストの生産能力を増強することを決めた。液浸ArF（フッ化アルゴン）、EUV（極端紫外線）などの最先端プロセス向け半導体フォトレジストの製造ラインを増設し、22年度上期からの稼働を予定する。

　フォトレジストは、半導体製造工程におけるパターン形成に使用される感光性樹脂。同社は各種ファインケミカル事業で培った有機合成技術をベースに高い製品設計・評価技術を確立し...　　(つづく)