2021.04.23 ダイヤモンドウエハー平坦化へ金沢大学の研究グループが研磨代替技術
処理前（左）と処理後（右）の単結晶ダイヤモンド表面の走査型電子顕微鏡像
金沢大学ナノマテリアル研究所の德田規夫教授、松本翼准教授、張旭芳特任助教、坂内和斗氏（研究当時＝大学院自然科学研究科電子情報科学専攻博士前期課程）らの研究グループは、ドイツDiamond and Carbon Applicationsのクリストフ E.ネーベルCEO（金沢大学リサーチプロフェッサー〈招へい型〉）との共同研究により、ダイヤモンドの研磨代替技術となる機械的ダメージフリー平坦化技術を開発した。
カーボンニュートラル... (つづく)
