三菱電機、大阪大学、スペクトロニクス（大阪府吹田市）は22日、世界最高出力でガラスなどの高速微細加工を実現する「高出力深紫外ピコ秒レーザー加工装置」の試作機を共同で開発したと発表した。

　同加工装置は、波長266ナノメートルの深紫外でパルス幅がピコ秒の短パルスレーザーを世界最高の平均出力50Wで照射できる。これにより、加工時間の大幅短縮のほか、従来の近赤外レーザーでは加工が難しかった透明なガラスなどの高速微細加工を実現。半導体...　　(つづく)