2021.07.02 東京工大 従来に比べ300倍高速化されたガスセンサー開発20ナノメートルのナノギャップ電極採用

 東京工業大学科学技術創成研究院フロンティア材料研究所の真島豊教授、ファンチョントゥエ助教(当時)の研究グループは、抵抗変化型ガスセンサーの電極間隔(ギャップ長)に注目し、20ナノメートルのナノギャップ電極とすることで、従来のガスセンサーに比べ約300倍高速化したガスセンサーの開発に成功した。

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