2021.07.30 浜松ホトニクスがGaN結晶品質評価装置開発ODPL測定法利用

ODPL測定装置

　浜松ホトニクスは、独自の光検出技術や光学設計技術、情報処理技術により全方位フォトルミネッセンス（ODPL）測定法を利用した結晶品質評価装置「ODPL測定装置 C15993-01」を開発。8月から国内外の大学や半導体基板メーカーの研究者に向けて販売を開始する。価格は1100万円（税込み）。

　パワー半導体の需要が拡大する中で、GaN（窒化ガリウム）結晶を材料とする次世代パワー半導体が注目され、品質評価の重要性が高まっている。　　(つづく)