レーザーテックは、半導体製造を支える各種検査装置を主力とし、デジタル化が進む社会の技術革新に貢献している。最先端のロジックデバイスや化合物系のパワー半導体に対応した製品をそろえ、高い技術力を訴求する。

　最先端のロジックデバイス製造においては、EUVリソグラフィーを用いた半導体製造工程の導入が加速している。同社は世界で初めてEUV光を用いたアクティニックEUVパターンマスク欠陥検査装置「ACTIS A150」をはじめ、EUVマスク欠陥検査装置「MATRICS X8Ultra」、マスクブランクス欠陥検査／レビュー装置「MAGICS M9650／M9651」、EUVマスク裏面検査／クリーニング装置「BASICシリーズ」などを製品化している。

　今回のセミコンジャパンにも出品し、EUV関連製品を訴求する。

　ACTIS A150は波長の短いEUV光を利用したアクティニック検査技術を採用したEUVパターンマスク欠陥検査装置。従来の深紫外（DUV）レーザーを用いたマスク検査装置に比べ、圧倒的に欠陥検出感度が高く、EUVマスク特有の転写性位相欠陥の検出も可能となる。

　EUV関連製品以外では、SiCウエハー欠陥検査／レビュー装置「SICA88」やGaNウエハー欠陥検査／レビュー装置「GALOIS211」など化合物半導体向けの製品も紹介。カーボンニュートラルの取り組みが世界的に広がる中、SiCの需要は急拡大すると見込む。自動車の電動化を後押しし、環境配慮型社会の実現を推進する。

　そのほか、ハイブリッドレーザー顕微鏡「OPTELICS HYBRID＋」も出品する。コンフォーカル光学系をベースに微分干渉観察、垂直式白色干渉測定など六つの機能を搭載。複数の装置をそろえなければ実現できなかった観察・測定が、1台で可能となる。