半導体露光装置世界最大手、オランダのASMLは3日、2日夜にドイツ・ベルリン工場で火災が発生したと発表した。夜中に鎮火し、けが人は報告されていないという。

　火災の原因やダメージ、今年の生産計画への影響などは今後の調査・評価を待って可能な限り早期に発表するとしている。

　ASMLは、シリコンウエハーの基板上に集積回路のパターンを焼き付ける半導体露光装置のトップ企業。ベルリン工場は、ASMLのサプライヤーの1社である光学部品メーカー、ベルリナー・グラスを前身とし、ウエハーテーブル、クランプ、レチクルチャック、ミラーブロックなど露光装置向けの部品を製造する。ASMLは2020年にベルリナー・グラスを買収した。