2022.01.19 世界最高水準の解像度5マイクロメートルSCREENホールディングスが次世代パターン用直接描画装置

世界最高水準の解像度5マイクロメートルを実現した次世代パターン用直接描画装置「LeVina（レビーナ）」

　SCREENホールディングスは、世界最高水準の解像度5マイクロメートルを実現した次世代パターン用直接描画装置「LeVina（レビーナ）」を4月から販売を始める。

　毎秒480ミリメートル移動する高速ステージの採用や、スキャンアライメント機能を搭載しており、ラインアンドスペース5マイクロメートルの解像度で、1時間当たり100枚の高速量産を実現した。

　ICパッケージ基板向け直接描画装置市場において、全世界に累...　　(つづく)