2022.06.15 TEL、レーザーエッジトリミング装置300ミリメートルウエハー接合デバイス向け

300ミリメートルウエハー接合デバイス向けレーザエッジトリミング装置Ulucus L

　東京エレクトロン（TEL）は、300ミリメートルウエハー接合デバイス向けレーザーエッジトリミング装置Ulucus Lの販売を開始する。

　同機は高度なレーザー制御ユニットを、同社の塗布現像装置で多数の量産実績のあるプラットフォームLITHIUS Pro Zに融合させて開発した。前工程で実現できるようなスーパークリーン技術と、高い信頼性と生産性を提供することが可能となった。

　同装置はレーザー制御技術を用いる...　　(つづく)