2022.08.05 半導体製造向けにGWP低いガスソリューション開発独メルクと米マイクロンが開始

　ドイツの大手化学メーカー、メルク（Merck）は、米マイクロンテクノロジーと提携し、半導体製造向けの地球温暖化係数（GWP）の低いガスソリューションの開発を開始した。

　マイクロンは現在、1年にわたるメルクとの段階的な協業を経て、メルクの研究開発チームが提供する低GWP型の代替エッチングガスを従来の高GWPエッチング材と置き換えた場合のプロセス性能を検証する実地試験を行っている。将来的に、より持続可能型の新しいガスソリューショ...　　(つづく)