2022.09.01 【新技術】先端的ICプロセスで用いるリガクのX線関連製品
【図1】MFM310。マイクロスポットEDXRF、XRR、XRD機能を有するハイブリッド計測システム
1.アジア半導体市場におけるリガクの戦略
リガクは1951年の創業以来、同社固有のコア技術を垂直統合することにより、革新的なX線関連製品を提供し続けており、現在、年間1000を超えるX線機器を製造・販売している。主たるコア技術は、回転対陰極高輝度X線源、多層膜ミラー光学系、2次元検出器で、これらに関わる最先端技術の開発に継... (つづく)
