2020.01.24 キヤノン、半導体露光装置参入50周年

国産初の半導体露光装置「PPC－1」

　キヤノンが、国産初の半導体露光装置「PPC-1」を1970年に発売し、半導体露光装置事業に本格参入して今年で50周年を迎える。

　スマホから自動車まで幅広く搭載されている半導体デバイスの製造には、半導体露光装置が必要不可欠だ。デジタル技術の高度化に合わせ、キヤノンの半導体露光装置も進化し続けてきた。

　同社の露光装置の歴史は、カメラのレンズ技術を高度に応用したことから始まる。60年代半ばにカメラのレンズ開...　　(つづく)