2023.03.02 AIXTRONのMOCVDシステム認定　amsOSRAMがマイクロLED200ミリウエハープロセスに

ams OSRAMと、半導体業界向け成膜装置の大手プロバイダーAIXTRON  SEは、ams  OSRAMがマイクロLED向け200ミリメートルウエハープロセスにAIXTRON  AIX  G5＋CおよびG10－AsP  MOCVDシステムを認定したと発表した。 AIXTRON  SEのMOCVD（有機金属気相成長法）システムAIX  G5＋Cと、新しいG10－AsPは、プラネタリーテクノロジーにより次世代の高解像度マイクロLEDディスプレーの道を切り...　　(つづく)