2023.03.21 半導体　微細化のトレンドに迫る フォークシートや裏面活用も imecのCMOS担当サマベダムSVP　に聞く　㊦

サマベダム氏

　—微細化など、特に大きな影響を与えると思われる技術は。

　

サマベダム氏　GAAは長く使われる。コンパクトなフットプリントでN・Pデバイスを積み重ねるCFET（相補型FET）を検討する場合も、ナノシートを使い構築されると予想される。

　また、システム技術協調最適化（STCO）が、将来のシステム微細化で期待される。特に高性能コンピューティングでは従来のSoCのさまざまな機能が分割され、多...　　(つづく)