2023.03.30 大陽日酸無水ヒドラジン材料、低水分化半導体産業向け販売を開始　進む微細化に対応

　大陽日酸は、従来品比でさらに低水分化を実現した、米RASIRC社製半導体産業向け無水ヒドラジン材料「BRUTE-Hydrazine」を販売開始した。微細化が進む半導体製造プロセスにおける半導体デバイス特性や製品歩留まり向上に貢献する。

　半導体製造プロセスにおける水分などの不純物の混入は、半導体の結晶品質や電気特性の悪化につながり、半導体デバイス特性や製品歩留まりの低下に直結する。それに対し、RASIRC社では精製技術を向上さ...　　(つづく)