2023.06.09 ADEKAが千葉工場に先端材料生産設備建設　EUVフォトレジスト向け光酸発生剤　能力2倍超　8月稼働

千葉工場で完成したEUVフォトレジスト向け光酸発生剤生産設備

　ADEKAは、千葉工場（千葉県袖ケ浦市）で建設中だったEUV（極端紫外線）フォトレジスト向け光酸発生剤の生産設備が完成し、竣工（しゅんこう）式を行った。先端材料の需要が高まっていることから、8月から稼働を予定している。

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