2023.06.16 東大と奈良先端科学技術大学院大がナノシート状酸化物半導体で高性能・高信頼性なトランジスタ開発 高集積化と高機能化でビッグデータの利活用に期待
試作したナノシート酸化物半導体トランジスタの模式図と断面透過型顕微鏡写真
東京大学と奈良先端科学技術大学院大学は、ナノシート状の酸化物半導体を使い、高性能・高信頼性なトランジスタを開発した。原子層堆積法で極めて薄い酸化物半導体の成膜方法を開発してデバイスを集積。半導体の高集積化とそれによる高機能化で、ビッグデータを利活用する社会サービスの展開が期待される。東大生産技術研究所（生研）の小林正治准教授と、奈良先端科学技術大学院大の物質創成科学領域の浦岡行治教授らの共同研究グループが取り組んでいる。
