2023.07.31 芝浦メカトロニクスが半導体研究開発棟を新設　橫浜事業所に25年夏完成

新設する研究開発棟の完成イメージ

　芝浦メカトロニクスは、横浜事業所（横浜市栄区）に半導体前工程向け製造装置の先端研究開発用クリーンルームを中心とした研究開発棟を新設する。

　新棟の延べ床面積は約4300平方メートルで来年夏に着工し、完成は2025年夏の予定。

　さがみ野事業所（神奈川県海老名市）には主に半導体後工程向け製造装置の開発評価・試験用クリーンルームを増設する。

　増設面積は約650平方メートルで、来年春をめどに...　　(つづく)