2023.08.29 旭化成の米子会社、4インチ窒化アルミ単結晶基板製造 に世界で初めて成功 次世代パワーデバイス展開に道
AlN基板2インチ(左)と4インチ
旭化成は、米子会社のCrystal IS,Inc.が、4インチ(直径100ミリメートル)の窒化アルミニウム(AlN)単結晶基板(AlN基板)の製造に世界で初めて成功したことを明らかにした。Crystal IS社はこれまで、AlN基板を活用し、自社でUV-C(深紫外線) LEDを製造・販売してきたが、今後は次世代パワーデバイスなどへの展開を見据え、AlN基板の外部販売に向けた活動も強化していく。
同社のAlN基板には、欠陥密度... (つづく)
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