2020.03.27 韓国サムスンが業界初、EUV露光技術でDRAMの量産体制確立
EUV露光技術を適用のDDR4 DRAMモジュール
韓国のサムスン電子は25日、業界初となるEUV（極端紫外線）露光技術を用いたDRAMの量産体制を確立したと発表した。同技術をベースに第1世代10ナノメートル級プロセス（D1x）適用DDR4 DRAMモジュールを製造し、顧客企業による評価を完了。100万個を出荷したとしている。
半導体製造での露光技術は、フォトマスクに描かれた複雑で微細な電子回路を高性能レンズで縮小、光を照射してシリコンウエハーに焼き付ける技術。従来のArF（... (つづく)
