2024.09.27 i線光源利用の半導体露光装置、キヤノンが新製品
i線露光装置「FPA-3030i6」
レンズ開発、小型基板向け
キヤノンは、半導体露光装置の新製品「FPA-3030ⅰ6」を24日に発売した。これは波長365ナノメートルのⅰ線の光源を利用した装置で新開発の投影レンズを搭載。収差(理想的な結像からのズレ)を抑え、露光時間の短縮により生産性を向上させる。新製品は200ミリメートル以下の小型基板向け。
FPA-303... (つづく)
i線露光装置「FPA-3030i6」
キヤノンは、半導体露光装置の新製品「FPA-3030ⅰ6」を24日に発売した。これは波長365ナノメートルのⅰ線の光源を利用した装置で新開発の投影レンズを搭載。収差(理想的な結像からのズレ)を抑え、露光時間の短縮により生産性を向上させる。新製品は200ミリメートル以下の小型基板向け。
FPA-303... (つづく)
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