2024.09.27 i線光源利用の半導体露光装置、キヤノンが新製品
i線露光装置「FPA-3030i6」
レンズ開発、小型基板向け
キヤノンは、半導体露光装置の新製品「FPA-3030ⅰ6」を24日に発売した。これは波長365ナノメートルのⅰ線の光源を利用した装置で新開発の投影レンズを搭載。収差(理想的な結像からのズレ)を抑え、露光時間の短縮により生産性を向上させる。新製品は200ミリメートル以下の小型基板向け。
FPA-303... (つづく)
i線露光装置「FPA-3030i6」
キヤノンは、半導体露光装置の新製品「FPA-3030ⅰ6」を24日に発売した。これは波長365ナノメートルのⅰ線の光源を利用した装置で新開発の投影レンズを搭載。収差(理想的な結像からのズレ)を抑え、露光時間の短縮により生産性を向上させる。新製品は200ミリメートル以下の小型基板向け。
FPA-303... (つづく)
平素より『週刊電波新聞』および『電波新聞デジタル』をご購読いただき、誠にありがとうございます。
ゴールデンウィーク期間中の発行および記事更新につき、下記の通りご案内申し上げます。
■ 週刊電波新聞 発行スケジュール
・5月4日(月):発行
※「5月4・11日合併号」として発行
・5月11日(月):休刊
※5月4日に合併号を発行しているため
・5月18日(月):通常通り発行
■ 電波新聞デジタル について
・土日・祝日を除く平日に記事を更新
・緊急性の高いニュース発生時は、随時更新予定
何卒ご理解賜りますようお願い申し上げます。
株式会社電波新聞社